清华大学EUV光刻胶材料取得重要进展 新型聚碲氧烷光刻胶问世 ,快递箱甲醛超标
近日,清华大学化学系许华平教授团队在极紫外(EUV)光刻材料上取得了重要进展,成功开发出一种基于聚碲氧烷(Polytelluoxane, PTeO)的新型光刻胶。这一成果为先进半导体制造中的关键材料提供了全新的设计策略。
光刻胶是半导体制造过程中的关键材料,在光照下会发生化学反应。在芯片制造流程中,将光刻胶均匀涂布在硅片表面,利用光掩膜进行曝光,再经过一系列化学处理和洗涤工序,把需要加工的芯片图形精准转移至硅片表面,从而实现芯片产品的精密加工和制造。光刻胶不仅是半导体生产线必不可少的工具,更是实现微米级别精密加工的关键材料,能够有效控制芯片制造的精度和质量,确保芯片产品具备高品质、高稳定性和高性能。
随着集成电路工艺向7nm及以下节点不断推进,13。5 nm波长的EUV光刻成为实现先进芯片制造的核心技术。但EUV光源反射损耗大、亮度低等特点,对光刻胶在吸收效率、反应机制和缺陷控制等方面提出了更高挑战。当前主流EUV光刻胶多依赖化学放大机制或金属敏化团簇来提升灵敏度,但常面临结构复杂、组分分布不均、反应容易扩散、容易引入随机缺陷等问题。如何突破这些瓶颈,构建理想光刻胶体系,成为当前EUV光刻材料领域的核心挑战。
理想的EUV光刻胶应具备高EUV吸收能力、高能量利用效率、分子尺度的均一性以及尽可能小的构筑单元。长期以来,鲜有材料体系能够同时满足这四个标准。许华平教授课题组基于团队早期发明的聚碲氧烷,成功开发出一种全新的EUV光刻胶,完美满足了上述条件。在研究中,团队将高EUV吸收元素碲通过Te─O键直接引入高分子骨架中。碲具有除惰性气体元素氙、氡和放射性元素砹之外最高的EUV吸收截面,其EUV吸收能力远高于传统光刻胶中的短周期元素和Zn、Zr、Hf和Sn等金属元素,显著提升了光刻胶的EUV吸收效率。Te─O键较低的解离能在吸收EUV后可直接发生主链断裂,诱导溶解度变化,从而实现高灵敏度的正性显影。这一光刻胶仅由单组份小分子聚合而成,在极简的设计下实现了理想光刻胶特性的整合,为构建下一代EUV光刻胶提供了清晰且可行的路径。
李先生一家没想到,3岁女儿的持续咳嗽竟然与客厅里堆积如山的快递箱有关。经专业机构检测,他们家的甲醛浓度超标5倍,而这些看似无害的快递包装正是罪魁祸首。
环境检测专家对市面上常见的快递包装进行了专项检测。结果显示,某品牌快递纸箱的甲醛释放量为0。56mg/m³,超标7倍;常见尼龙快递袋的甲醛释放量为0。43mg/m³,超标5。4倍;彩色包装盒的甲醛释放量最高达0。82mg/m³,超标10倍。国家标准规定室内甲醛浓度应不超过0。08mg/m³。
这些包装中隐藏着健康杀手。劣质粘合剂为了节省成本使用含甲醛胶水,彩色印刷包装因油墨污染导致甲醛含量更高,部分纸箱添加甲醛作为防腐剂,尼龙袋遇热会加速甲醛释放。
如果出现眼睛刺痛、流泪、咽喉不适、咳嗽、皮肤红疹、头晕、乏力或记忆力减退等症状,可能是甲醛中毒的征兆。
专家建议采取以下措施远离“包装毒害”:新到的快递应在阳台通风处放置24小时;使用剪刀拆封,避免直接用手撕咬;拆完快递当天就要清理包装;孕妇和儿童房间严禁堆放快递箱;自备环保袋购物,减少快递包装接触。
杭州王女士因长期在家做电商,堆积大量快递包装,半年后查出白细胞异常。经检测,其工作区域甲醛浓度超标8倍。夏季高温会加速甲醛释放,现在正是最危险的时候。请立即检查家中是否堆积快递包装,为了家人健康,请及时清理,并转发提醒更多人远离这个“隐形杀手”。